可检测低于5微米的缺陷

快速找到物品缺陷，提高检测效率

载物台尺寸：280mm×320mm

载物台倾斜：±45°，旋转机械手360°

光管电压：90kV

光管聚焦尺寸：5μm-15μm

成像面积:130*130mm

像素矩阵:1536*1536